Material Specifications
아래 수치는 회사 제품 자료에 근거하며 소재 선정과 기술 협의를 위한 참고용입니다. 납품 가능한 치수와 지표는 상호 합의한 기술 협약을 따릅니다.
소재 종류
단결정 실리콘
주요 치수
450–600 mm (구체적 사양은 기술 협약으로 확인)
순도
>8N
전도형
P형(붕소) / N형(인)
비저항
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
치수 공차
±0.05 mm 이내
평탄도
≤15 μm, 고급 사양 ≤8 μm
표면 거칠기
표준 Ra≤0.4 μm, 연마 Ra≤0.1 μm
납품 형태
실리콘 잉곳 / 튜브 / 링
반도체 식각용 실리콘 소재 제품 안내서
단결정 실리콘 제품 소개
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