단결정 실리콘 링
Monocrystalline Silicon Ring
단결정 실리콘 링
식각 장비의 실리콘 링용 소재 및 블랭크로 도면에 따라 치수와 가공 요건을 정합니다.
전도형, 비저항, 형상 치수 및 표면 상태는 구체적인 적용 요건에 맞춰 기술 협의합니다.
실제 제품 사진
실제 제품 사진입니다. 납품 치수와 표면 상태는 도면 및 기술 협약을 따릅니다.
식각용 실리콘 부품 소재 사양
단결정 실리콘 잉곳
단결정 실리콘 튜브
단결정 실리콘 링
소재 종류
단결정 실리콘
단결정 실리콘
단결정 실리콘
주요 치수
450–600 mm (구체적 사양은 기술 협약으로 확인)
450–600 mm (구체적 사양은 기술 협약으로 확인)
450–600 mm (구체적 사양은 기술 협약으로 확인)
순도
>8N
>8N
>8N
전도형
P형(붕소) / N형(인)
P형(붕소) / N형(인)
P형(붕소) / N형(인)
비저항
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
치수 공차
±0.05 mm 이내
±0.05 mm 이내
±0.05 mm 이내
평탄도
≤15 μm, 고급 사양 ≤8 μm
≤15 μm, 고급 사양 ≤8 μm
≤15 μm, 고급 사양 ≤8 μm
표면 거칠기
표준 Ra≤0.4 μm, 연마 Ra≤0.1 μm
표준 Ra≤0.4 μm, 연마 Ra≤0.1 μm
표준 Ra≤0.4 μm, 연마 Ra≤0.1 μm
제품 사양, 검사 방법 및 납품 상태는 상호 확인한 기술 협약과 도면을 따릅니다.
대구경 결정 성장
대구경 제품, 통합 기술 공정 및 지속적인 공정 개발에 집중합니다. 직경 450 mm 제품의 안정적인 양산과 함께 600 mm 이상 제품의 연구 개발 및 공정 검증을 진행합니다.
소재 형태 및 가공
단결정 실리콘 결정에서 솔리드, 튜브, 링 블랭크까지 부품 도면에 따라 가공 경로와 소재 요건을 결정합니다.
실리콘 부품 가공
식각 부품 도면에 따라 내외경, 두께 및 주요 형상 공차를 확인합니다. 소재 형태에 맞춰 연삭·정밀 가공하고 기술 협약에 따라 검사합니다.
정밀 가공
치수 검사
CZ 단결정 성장
소재 사양 확인
도면 기반 가공
검사 및 납품
중징촹신 · 소재 및 가공
대구경 단결정 실리콘의 결정 성장과 후속 가공을 연결합니다. 소재 특성, 주요 치수, 표면 상태 및 검사 문서는 프로젝트 도면과 기술 협약에 따라 확인합니다.