원자재
소모품
Monocrystalline Silicon Ingot
후속 외경 가공, 절단 및 정밀 가공용 솔리드 1차 가공 소재.전도형, 비저항, 형상 치수 및 표면 상태는 구체적인 적용 요건에 맞춰 기술 협의합니다.
실제 제품 사진입니다. 납품 치수와 표면 상태는 도면 및 기술 협약을 따릅니다.
식각용 실리콘 부품 소재 사양
소재 종류
단결정 실리콘
주요 치수
450–600 mm (구체적 사양은 기술 협약으로 확인)
순도
>8N
전도형
P형(붕소) / N형(인)
비저항
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
치수 공차
±0.05 mm 이내
평탄도
≤15 μm, 고급 사양 ≤8 μm
표면 거칠기
표준 Ra≤0.4 μm, 연마 Ra≤0.1 μm
제품 사양, 검사 방법 및 납품 상태는 상호 확인한 기술 협약과 도면을 따릅니다.
대구경 제품, 통합 기술 공정 및 지속적인 공정 개발에 집중합니다. 직경 450 mm 제품의 안정적인 양산과 함께 600 mm 이상 제품의 연구 개발 및 공정 검증을 진행합니다.
단결정 실리콘 결정에서 솔리드, 튜브, 링 블랭크까지 부품 도면에 따라 가공 경로와 소재 요건을 결정합니다.
식각 부품 도면에 따라 내외경, 두께 및 주요 형상 공차를 확인합니다. 소재 형태에 맞춰 연삭·정밀 가공하고 기술 협약에 따라 검사합니다.
정밀 가공
치수 검사
반도체 식각용 실리콘 소재 제품 안내서
단결정 실리콘 제품 소개
CZ 단결정 성장
소재 사양 확인
도면 기반 가공
검사 및 납품
대구경 단결정 실리콘의 결정 성장과 후속 가공을 연결합니다. 소재 특성, 주요 치수, 표면 상태 및 검사 문서는 프로젝트 도면과 기술 협약에 따라 확인합니다.