후속 외경 가공, 절단 및 정밀 가공용 솔리드 1차 가공 소재.
중공 가공과 성형을 거친 튜브 소재로 식각용 링 부품의 블랭크를 제공합니다.
식각 장비의 실리콘 링용 소재 및 블랭크로 도면에 따라 치수와 가공 요건을 정합니다.
도면 및 기술 요건에 따라 소재와 가공 방안을 확인합니다.
실리콘 잉곳, 튜브, 링 및 봉
적용 요건에 맞춰 구조 및 가공 방안 확인
신규 제품 이미지는 형상 예시입니다. 실제 구조와 사양은 승인 도면을 따릅니다.
소재 종류
단결정 실리콘
주요 치수
450–600 mm (구체적 사양은 기술 협약으로 확인)
순도
>8N
전도형
P형(붕소) / N형(인)
비저항
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
치수 공차
±0.05 mm 이내
평탄도
≤15 μm, 고급 사양 ≤8 μm
표면 거칠기
표준 Ra≤0.4 μm, 연마 Ra≤0.1 μm
제품 사양, 검사 방법 및 납품 상태는 상호 확인한 기술 협약과 도면을 따릅니다.