Technology & Manufacturing
CZ 인상법으로 대구경 단결정 실리콘을 성장시키며 결정 치수, 전도형 및 비저항을 기준으로 공정을 관리합니다.
부품 도면에 따라 가공 여유량을 정하고 외경 가공, 절단 및 중공 가공으로 잉곳, 튜브, 링을 만듭니다.
주요 치수, 공차 및 표면 상태에 맞춰 절단, 연삭, 정밀 가공을 진행하고 기술 협약으로 납품 요건을 확인합니다.
소재 특성, 주요 치수 및 표면 상태에 대한 검사 항목과 판정 기준을 확인하고 기술 협약에 따라 검사합니다.
소재 형태와 운송 요건에 맞춰 세정, 보호, 포장 및 제품 식별을 수행하고 필요한 납품 문서를 준비합니다.
중징촹신은 반도체 식각용 대구경 실리콘 소재에 집중하며 단결정 성장, 절단, 연삭 및 정밀 가공의 기술 공정을 구축했습니다.
결정 성장
CZ법으로 단결정을 성장시킵니다. 목표 소재의 직경, 전도형, 비저항 범위 및 산소·탄소 함량 요건을 확인하여 후속 가공의 소재 기반을 마련합니다.
외경 가공 및 성형
도면과 후속 공정의 가공 여유량을 고려하여 외경 가공 및 절단으로 필요한 치수의 잉곳을 만듭니다. 솔리드 잉곳으로 납품하거나 중공 가공을 진행할 수 있습니다.
중공 가공 및 절단
잉곳을 중공 가공하여 튜브를 만들고 목표 두께로 절단하여 링 블랭크를 제작합니다. 내외경, 벽 두께 및 절단 여유량은 후속 정밀 가공 요건과 함께 확인합니다.
정밀 가공
부품 도면에 따라 연삭·정밀 가공하고 치수 공차, 평탄도 및 표면 거칠기를 각각 관리합니다. 일반 가공면과 연마면의 기술 요건은 도면에서 구분합니다.
검사 및 포장
기술 협약에 따라 치수, 전기적 특성, 표면 상태 및 외관을 검사하고 동봉 문서와 포장을 확인합니다. 블랭크와 정밀 가공품에 각각 합의된 합격 항목을 적용합니다.
2025년 440 mm 결정 성장과 재투입 공정 시험을 완료했습니다. 2026년에는 36인치 핫존과 600 mm 대구경 제품의 기술 개발을 이어가고 있습니다.
결정 및 생산 현장
결정 외관
결정 형상
생산 현장
제품 형상, 치수 도면, 전도형, 비저항 및 납품 요건을 제공해 주세요.